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真空镀膜设备
科技创新为动力 专业服务为目标
常规配置 ► 真空泵系统 低真空泵:旋片式机械泵(蒸压机械泵:930m3 h-1) 高真空泵:扩散泵(选择:低温泵或滑轮分子泵) ► 真空阀系统 型号:3/8”,2”,4”,22“ ► 真空室加热系统 高温度:0到400℃ 型号:滷素灯(选择:微型加热器) 基片型号:球面型或行星型 转速:0到30转速/分 软起,软停,可调速泸 ► 电子控制系统 型号:计算机控制面板 可修改和改变任何需要的控制 全程控制镀膜以达到·九游会·产品所需的要求 提供所需要的技术信息 ► 真空计系统 高真空感应器:2 低真空感应器:1 |
选择配置 ► 薄膜沉积控制系统 沉积控制:IC-5 (INFICON) MDC360 (MAXTEK)等等 石英晶髓感应器:1,2,6头 ► 光控离子源 无栅型:直流型 灯丝型:直流型,频射型 ► 电子束源 容量:15cc,25cc,40cc等等 偏转角度:180度或270度 坩锅:4,6,8倜等等 ► 深冷系统 除霜室 扩散泵 ► 水冷却系统 水或气冷却器 |